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角度测量是几何量计量技术的重要组成部分,在现代企业的质量保证体系中具有非常重要的地位。随着精密加工和超高速加工的发展,高精度、高分辨率小角度测量方法的研究成为此领域研究的一项重要内容。现阶段小角度测量的准确度和精度都达到了很高的水平,但是,传统的小角度测量仪器如激光干涉仪,光电自准直仪等,由于具有体积大、造价昂贵、对测量环境要求高、较难组成多维测角系统等特点而很难应用于工业高精度在线测量。为了解决上述问题,本课题设计并试制了一种基于内反射效应的二维角度传感器,采用激光发射信号调制方法,以