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制备了尺寸为4nm的HfO2纳米颗粒,并借助X射线原子对分布函数方法,研究了尺寸约4nm和体相HfO2颗粒的晶格热膨胀。结果表明,在纳米尺度的HfO2中,晶格沿a,c轴的热膨胀性增大,b轴热膨胀性稍微减小,体积热膨胀性增大。同时纳米HfO2晶格热膨胀的各向异性比体相大。该现象是由于尺寸效应导致结构畸变变大,尤其是次近邻Hf-O-Hf键角减小,随后升温过程中该畸变发生热弛豫趋向恢复至平衡位置导致的。