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脉冲离子束轰击靶的热效应数值模拟
脉冲离子束轰击靶的热效应数值模拟
来源 :原子能科学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shiqiuqiu100
【摘 要】
:
分析了脉冲离子轰击靶膜和衬底的热效应,在能量较低的情形下,离子轰击处理为靶膜表面热流输入。采用有限元程序,对能量为600 keV、束流为12 mA的不同束斑半径的脉冲离子流轰击Cu
【作 者】
:
石磊
【机 构】
:
中国工程物理研究院
【出 处】
:
原子能科学技术
【发表日期】
:
2010年B09期
【关键词】
:
脉冲离子束
靶
数值模拟
pulsed ion beam
target
numerical simulation
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分析了脉冲离子轰击靶膜和衬底的热效应,在能量较低的情形下,离子轰击处理为靶膜表面热流输入。采用有限元程序,对能量为600 keV、束流为12 mA的不同束斑半径的脉冲离子流轰击Cu基Ti靶的热传导进行了数值计算,得到了热传导清晰物理图象。
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