【摘 要】
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为提升石英半球谐振子抛光加工的效率及表面质量,对其内外表面进行了力流变抛光实验。利用力流变抛光液的剪切增稠特性,使流变流体柔性把持游离磨粒、并利用其与工件表面的相
【机 构】
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浙江工业大学机械工程学院,上海航天控制技术研究所,西安建筑科技大学信息与控制工程学院,西安中科微精光子制造科技有限公司,中国航天电子技术研究院
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51805484,51775508),浙江省自然科学基金杰出青年基金项目(LR17E050002),机械系统与振动国家重点实验室开放基金课题(MSV202113)。
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为提升石英半球谐振子抛光加工的效率及表面质量,对其内外表面进行了力流变抛光实验。利用力流变抛光液的剪切增稠特性,使流变流体柔性把持游离磨粒、并利用其与工件表面的相对运动实现材料去除,通过控制抛光液流场及界面剪切应力实现半球谐振子内外表面的柔性、高效抛光。在实验过程中,石英半球谐振子外表面的抛光采用浸入式抛光方法,在抛光30 min后,材料表面粗糙度Ra从135.5nm降至6.6nm,内表面采用切入式抛光方法,在抛光15 h后,材料表面粗糙度Ra从128.2nm降至9 nm。实验结果证明,力流变抛光方法在石
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