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文章就热壁低压化学汽相沉积（ＨＷＬＰＣＶＤ）设备使用过程中常见的故障见象及维修谈一点体会。
热壁低压化学汽相淀积设备的使用与维修
【摘 要】
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文章就热壁低压化学汽相沉积（ＨＷＬＰＣＶＤ）设备使用过程中常见的故障见象及维修谈一点体会。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1998年1期
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