【摘 要】
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艾里卡特扩展其BASIS~(TM)系列质量流量控制器的流量量程至20SLPM,从而将BASIS基础版质量流量控制器的应用延伸至喷气溅射、样气稀释及配气混合等行业中,可用于OEM和系统集成
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艾里卡特扩展其BASIS~(TM)系列质量流量控制器的流量量程至20SLPM,从而将BASIS基础版质量流量控制器的应用延伸至喷气溅射、样气稀释及配气混合等行业中,可用于OEM和系统集成的小巧、可靠的气体流量控制方案。艾里卡特的BASIS~(TM)质量流量控制器专为OEM用户及系统集成商量身打造,是目前所有艾里卡特产品中外形最为小巧的仪器,可快速精确地控制气体流
Extending the flow range of its BASIS ™ (TM) Series mass flow controllers to 20SLPM, Airline extends the BASIS Basic Mass Flow Controller applications to such industries as jet sputtering, sample dilution and gas mixing Compact and reliable gas flow control solution for OEM and system integration. Designed for OEM users and system integrators, the Allied Cartridge BASIS ~ (TM) Mass Flow Controller is the smallest form factor in all current ACCESSORIES products for fast and precise gas flow control
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