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介绍了一种新型微机械角速度传感器的工作原理，详细分析了该传感器的干扰成分，提出了消除干扰力矩影响的信号处理方法。设计了静电力反馈控制方案，并进行了计算机仿真，证明该方法具有实用性。
微机械角速度传感器信号分析与处理
【摘 要】
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介绍了一种新型微机械角速度传感器的工作原理，详细分析了该传感器的干扰成分，提出了消除干扰力矩影响的信号处理方法。设计了静电力反馈控制方案，并进行了计算机仿真，证明该方法
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
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测控技术
【发表日期】
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2000年6期
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