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报导用连续波ＣＯ２激光加工机对氮化硅陶瓷的激光打孔试验，获得了深径比达１８．７５的结果。
用连续波CO2激光对氮化硅陶瓷打孔的实验研究
【摘 要】
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报导用连续波ＣＯ２激光加工机对氮化硅陶瓷的激光打孔试验，获得了深径比达１８．７５的结果。
【机 构】
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华南师范大学量子电子学研究所
【出 处】
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华南师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2000年1期
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