【摘 要】
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太阳能光伏产业多晶硅片大多来源于定向凝固多晶铸锭方法。定向凝固多晶硅锭中心区硅棒底部常出现阴影区域,对多晶硅锭的品质及铸锭得料率有一定的影响。经实验研究分析,中心
【机 构】
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湖南红太阳光电科技有限公司,中国电子科技集团公司第四十八研究所
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太阳能光伏产业多晶硅片大多来源于定向凝固多晶铸锭方法。定向凝固多晶硅锭中心区硅棒底部常出现阴影区域,对多晶硅锭的品质及铸锭得料率有一定的影响。经实验研究分析,中心硅锭底部出现阴影的原因是在晶体生长初期,打开隔热笼,边角长晶速度相对比中心长晶速度快,固液界面呈＂凹＂状,熔体中杂质在硅锭中心底部沉积,造成硅锭红外探伤图上出现阴影。通过多晶铸锭炉热场结构的改进及工艺的优化,使得晶体生长初期边角长晶速度变慢,固液界面的＂凹＂度变小,甚至使固液界面变平或微＂凸＂,底部杂质向硅锭四周扩散,可消除多晶硅锭中心区硅棒阴影
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