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本文通过对荣华二采区10<
桶式外延炉吹扫工艺改善外延层电阻率均匀性的研究
【摘 要】
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本文通过对荣华二采区10
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220;
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2013年6期
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