【摘 要】
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用电子束蒸发的方法,在1.33×10~(-3)Pa的真空中蒸发SnO_2-ZnO陶瓷及掺杂荆,获得超微粒结构的SnO_2-ZnO薄膜,薄膜在氮气和氧气气氛中进行热处理。经热处理后,薄膜的结构、电
【机 构】
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内蒙古大学半导体能源实验室,内蒙古大学半导体能源实验室,内蒙古大学半导体能源实验室,
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用电子束蒸发的方法,在1.33×10~(-3)Pa的真空中蒸发SnO_2-ZnO陶瓷及掺杂荆,获得超微粒结构的SnO_2-ZnO薄膜,薄膜在氮气和氧气气氛中进行热处理。经热处理后,薄膜的结构、电学及光学性能得到改善。由这种薄膜制备的气敏元件,经掺杂和600℃热处理后,对乙醇气体有很高的灵敏度。
SnO_2-ZnO ceramics and doped Jing were evaporated in a vacuum of 1.33 × 10 ~ (-3) Pa by electron beam evaporation to obtain an ultrafine-structure SnO_2-ZnO thin film. The thin films were heat-treated in a nitrogen and oxygen atmosphere. After heat treatment, the structure, electrical and optical properties of the film are improved. The gas sensor prepared from this kind of film, after doping and heat treatment at 600 ℃, has high sensitivity to ethanol gas.
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