切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
板上芯片固化及热处理过程中表面残余应力的演变
板上芯片固化及热处理过程中表面残余应力的演变
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:manaijin
【摘 要】
:
利用硅压阻传感器实时原位地记录粘接剂固化过程中的应力变化和残余应力的分布状况,以及在热处理过程中应力的演化过程。研究表明,若粘合剂固化后在空气中储存20天,应力将在后续
【作 者】
:
孙志国
张群
等
【机 构】
:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2002年8期
【关键词】
:
板上芯片
固化
热处理
残余应力
硅压阻应力传感器
半导体芯片
silicon piezoresistive sensor
curing
thermal tre
【基金项目】
:
国家重点基础研究资助项目 ( No.G19990 3310 8)~~
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
利用硅压阻传感器实时原位地记录粘接剂固化过程中的应力变化和残余应力的分布状况,以及在热处理过程中应力的演化过程。研究表明,若粘合剂固化后在空气中储存20天,应力将在后续热处理过程中急剧增加;而固化后接着经历峰值为150℃左右的热处理过程,则可以使残余应力稳定在一个相对低的值。
其他文献
应用低携带率循环床燃烧技术的SHF30—1.25—LⅡ型锅炉
<正> 一、概述煤炭在我国能源构成中占70%以上,其中有80%以上的煤被直接燃用,而工业锅炉燃煤又约占其中的40%。燃煤利用率较低是高能耗的重要原因。燃煤烟尘、硫、氮的排放是
期刊
锅炉
燃烧
循环流化床
携带率
选煤是控制煤中有毒元素排放的有效方法
<正> 因为环保涉及到安全利用煤炭问题,选煤对环境的贡献就变得更为重要。公众和环保方面更为关心的是有毒元素的排放。大量研究工作发现,元素砷、镉、铅、铜、汞、镍、硒、
期刊
选煤
控制
煤
有毒元素
排放
基于SiGe/Si的空穴型共振隧穿二极管
用GS400高真空外延设备制备了空穴型双势垒单势阱共振隧道二极管,常温(293K)直流测试数据为PVCR(峰谷电流比)=1.13,Jp(峰值电流)=1.589kA/cm^2,对应的低温(77K)脉冲测试数据为PVCR=
期刊
共振隧道二极管
SIGE/SI
势垒
量子阱
峰谷电流比
选择区域生长高质量InGaAsP多量子阱材料
采用LP-MOVPE在SiO2掩膜的InP衬底上实现了高质量的InGaAsP多量子阱(MQW)的选择区域生长(SAG),通过改变生长温度和生长压力,MQW的适用范围由C波段扩展至L波段,即MQW的光致发光波长从1
期刊
选择区域生长
INGAASP
多量子阱材料
半导体材料
selective area growth
LP-MOCVD
InGaAsP
MQW
EML
Ge预非晶化硅化物工艺的研究
对全耗尽SOI CMOS技术中的Ge预非晶化硅化物工艺进行了研究。Ge的注入,使Si非晶化,减小了硅化物的形成能量。Ti硅化物在非晶层上形成。与传统的Ti硅化物相比,注Ge硅化物工艺有两
期刊
SOICMOS器件
预非晶化硅化物
锗
SOI CMOS devices
fully- depleted
Ge pre- am orphization
二氧化硅覆盖退火增强磷化铟基体激光器材料的量子阱混合
我们对SiO2覆盖退火增强InGaAs/InGaAsP/InP激光器材料量子阱混合技术进行了实验研究。相对于原始样品,退火时无SiO2覆盖的样品经800℃,30s快速退火后,其光致发光谱的峰值波长“蓝移”7nm,退火时有SiO2覆盖的样品经过同样
期刊
激光器材料
二氧化硅
磷化铟
量子阱
Encapsulation
Semiconducting indium phosphide
基于FD—BPM方法的阵列波导光栅模拟
给出了一种采用FD-BPM方法对整个阵列波导光栅(AWG)器件进行方便而精确地模拟的方法和一个AWG设计实例的模拟结果,并对模拟结果进行了分析。由模拟得到的器件基本参与实际设计值
期刊
FD-BPM方法
阵列波导光栅
有限差分光束传输法
波分复用
模拟计算
设计原理
光纤通信
arrayed waveguide gratings
finite
基于MIDAS GTS分析地铁运行振动对地铁车站沉降影响
为探明地铁运行振动对地层的影响,以北京的地铁站为例,建立地铁站的结构三维模型及其所在地层的地质三维模型,在此基础上利用有限元分析软件在时域内对地铁区间隧道及其周围
期刊
空间有限元模型
地铁运行
地层
spatial finite element model
metro operation
stratum
我国城市煤气概况及展望
<正> 一、概况近年来我国城市煤气发展较快,在381 个城市中已建煤气企业185个,9万工作人员(1987年末统计),1986及1987年的供气情况见表1。
期刊
城市煤气
远景
中国
球栅阵列倒装焊封装中的热应变值的测试
利用高温云纹实验方法测试球栅阵列(BGA)封装焊点的热应变,采用硅橡胶试件光栅复制技术,使测试环境温度提高到200℃。通过实时热应变测量,得到各焊点的热应变关系以及封装材料、电
期刊
球栅阵列
倒装焊
封装
热应变值
测试
高温云纹
热疲劳
BGA
high temperature moiré
grating
flip chip p
与本文相关的学术论文