论文部分内容阅读
在分析光刻胶光栅浮雕图形缺陷成因的基础上,首次将光刻胶灰化工艺引入到全息-离子束刻蚀制作闪耀光栅工艺中,并成功地为国家同步辐射实验室光化学站制作了12001/mm,闪耀波长为130nm的锯齿槽形光栅.测试结果表明光刻胶灰化处理对制作大面积优质的光刻胶光栅非常有效和实用.
光刻胶灰化技术用于同步辐射闪耀光栅制作
【摘 要】
：
在分析光刻胶光栅浮雕图形缺陷成因的基础上,首次将光刻胶灰化工艺引入到全息-离子束刻蚀制作闪耀光栅工艺中,并成功地为国家同步辐射实验室光化学站制作了12001/mm,闪耀波长
【机 构】
：
中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥 230029
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2000年3期
其他文献
介绍一种新型等离子体辅助镀膜技术 ,使用该技术可使高质量的光学镀膜大量生产。该技术核心是无栅等离子体源 (GIS)。GIS可以产生大面积的均匀等离子体 ,直径大于 1 0 0 0mm
格列吡嗪胶囊已收载到中国药典 2 0 0 0年版增补本中。按照药典中有关物质的检查法对格列吡嗪胶囊进行检验 ,很难达到标准要求[1] 。为此 ,我们对现行标准中有关物质检查法进
近年 ,硅基低维材料物理与工艺的研究预示 ,硅基光电子学将是今后半导体光电子学的一个主要发展方向 ,而对硅基纳米材料的研究一直是本领域的一个研究热点 ,评述了近年硅基纳
目的 探讨多层螺旋CT(MSCT)对先天性心脏病的成像技术.方法 对89例先心病行MSCT增强扫描,分别于12～17 s和35～45 s扫描.原始图像在工作站经多平面重建(MPR)、最大密度投影(MIP)和容积再现(VR)等技术重建,与心脏超声及18例手术结果作对比.结果 89例患者MSCT增强扫描与心脏超声相符,18例MSCT增强扫描结果与手术中所见一致.结论 MSCT增强扫描的成像技术对先心病
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
展览时间:2017年7月21日至8月31日展览地点:清华大学艺术博物馆杜大恺先生的艺术生涯丰富多彩,其艺术创作涉及油画、水彩画、壁画、装饰绘画、工艺美术设计等多个领域,“多面
介绍了扫描电镜中的一种背散射电子采集和测量系统 ,该系统能探测那些较低能量损失且散射角接近 1 80°的背散射电子。测量了在Au、Pt、Ag和C靶中的低失能近轴背散射电子的背
在实施全面素质教育的过程中,历史学科有着重要的作用。注重培养学生的思维能力,既能提高历史教学的质量,也会促进学生的全面发展,简要分析高中历史教学中学生思维存在的问题
反应离子刻蚀是金刚石薄膜图形化的一种有效方法。研究了用O2 及与Ar的混合气体进行金刚石薄膜图形化刻蚀的主要工艺参数 (射频功率、工作气压、气体流量、反应气体成分与比
主要研究了不同的反应离子刻蚀条件 (氧基工作气体、刻蚀功率、工作气压等 )下所获得的不同刻蚀效果。当以O2 /CHF3 作为工作气体时 ,在一定的工艺条件下实现了高深宽比 (深