硅基铂钛夹层AAO多孔模版制备半导体量子线

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sunyiyuki

【摘要】

：

制备一种新型硅基铂钛夹层AAO模版,并用这种模版制备量子线阵列.在硅基上依次用电子束蒸镀铂膜、钛膜和铝层,把在草酸溶液中阳极氧化制备AAO模版的方法,移植到制备这种模版中

【作者】

：

郭志超王光灿王清理张晋

【机构】

：

云南大学

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2007年5期

【关键词】

：

电子束蒸镀阳极氧化模版量子线 electron beam evaporation anode oxidation template quantum wir

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

制备一种新型硅基铂钛夹层AAO模版,并用这种模版制备量子线阵列.在硅基上依次用电子束蒸镀铂膜、钛膜和铝层,把在草酸溶液中阳极氧化制备AAO模版的方法,移植到制备这种模版中.再用这种模版直流电沉积制备了Znse半导体量子线阵列.SPM表征出相当好的结果,模版孔径和量子线大小一致,且分布均匀.这种模版底层的铂膜提供了量子线的一个电极,基底硅为纳米器件集成提供了平台.

其他文献

足球运动员应大力发展体能训练

体能训练是足球运动员必须加强的训练部分,在足球运动员的训练中,必须大力发展体能训练,将体能训练贯彻于训练周期的始终。本文主要探讨了足球运动员体能训练的必要性,提出了

期刊

足球运动员体能训练发展

Ni—32.5%Sn共晶合金的净化与深过冷

本文采用循环高温过热和无机盐玻璃净化剂去除液态Ni-32.5%Sn共晶合金中的异质晶核,获得高达397K(0.283T_E)的过冷度,发现深过冷熔体主要以辐射方式散热,从而导出一种根据冷

期刊

Ni-Sn合金深过冷比热共晶合金undercoolingrapid solidificationnucleationeutectic all

仿生波浪滑翔器的可靠性验证

由于海洋气象条件复杂,极端海况时有出现,因此需要对仿生波浪滑翔器在极端海况下的可靠性进行验证。利用ANSYS流固耦合技术,分别对水下牵引机和水面浮体平台进行分析,验证仿生波浪滑翔器具有高可靠性,可抵御浪高为14 m的海浪。

期刊

波浪滑翔器可靠性验证Wave GliderReliabilityDemonstration

运用目标教学特点培养最佳学习心态

期刊

目标教学最佳学习心态小学数学

旅行时如何防治旅游失眠

春暖花开，又到旅游的好时节。在旅途中，因为环境改变。活动量增加，作息时间和原有的生活规律被打乱，对于本来睡眠稍差的人来说，失眠现象就难免发生。而睡眠不好会影响到体力恢复及

期刊

失眠现象旅游非药物治疗防治旅行环境改变生活规律作息时间

6σ方法在汽车手套箱异响改善中的应用

对6σ方法进行了概述,介绍了应用6σ方法进行质量改善的五个阶段。对颠簸路测试过程中出现的汽车手套箱部位异响问题进行了分析,确定了产生异响的原因。通过试验设计优化了生

期刊

6σ汽车生产质量应用6σAutomobileProductionQualityApplication

Mgo—B2O3二元系熔渣中组元的活度

本文以Sn作为金属熔剂,石墨作为还原剂用,“渣-金”化学平衡法在1500和1550℃下,测定了MgO-B_2O_3二元系熔渣中Mgo的活度,并采用α函数积分法求得了该二元系熔渣中B_2O_3的活

期刊

Mo-B2o3系熔渣活度热力学性质MgO-B_2O_3slagactivity

试论教学管理向素质教育转轨

优化教学管理全过程，向素质教育转轨，应当成为当前教学研究的重点课题。一、用教育法规监控教学管理的思想和行为由“应试教育”向素质教育转轨，应依靠“一纲”、“三法”等有关

期刊

教学管理课堂教学模式学习兴趣教学方法优化教学课程计划愉快教学法评价指标体系运用现代化教学手段实施素质教育

基于MEMS的条栅状微过滤器的设计与制作

本文基于MEMS技术设计制作了硅微结构的条栅状过滤器,用于分离的研究,给出了具体的制作工艺,并用碳化硒微粒做了原理实验以检验其过滤性能.此结构过滤器及工艺方法可为同行参

期刊

微机械加工硅微结构条栅状过滤器分析化学

积土成山赏木于林：——谈“丰富语言的积累”

期刊

语文教学语言积累赏读相融思背相促读写结合

硅基铂钛夹层AAO多孔模版制备半导体量子线

与本文相关的学术论文