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提出一种采用梳齿驱动方式的新型微镜结构,通过外加电压使处于不同高度的可动梳齿与固定梳齿产生转动,带动镜面发生偏转.研究表明:在外加电压为101V时,微镜的转动范围达15.4°,超过平行板驱动微镜.同时,采用有限元方法进行了仿真模拟,结果显示:其固有频率、抗干扰性高于平行板驱动微镜.
一种新型梳齿驱动式微镜
【摘 要】
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提出一种采用梳齿驱动方式的新型微镜结构,通过外加电压使处于不同高度的可动梳齿与固定梳齿产生转动,带动镜面发生偏转.研究表明:在外加电压为101V时,微镜的转动范围达15.4&
【机 构】
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南京航空航天大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2005年3期
【基金项目】
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国防科技应用基础研究基金
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