琳琅满目的人工晶体

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微电子产业是信息产业中一个重要支柱.材料在微电子(集成线路)技术发展中起着非常重要的作用,这些材料包括芯片材料、封装材料、光刻材料及其它辅助材料.其中决定其发展的核心是作为超大规模集成电路衬底的硅单晶.至今硅单晶的直径已经发展到12”(300mm)至16“(400mm).同时对硅单晶的完整性(无位错)、纯度及加工的要求也越来越高.目前全球硅单晶年产量己达万余吨,半导体工厂每年生产40km2的硅芯片,可以复盖从San Jose到Palo Alto之间的硅谷.
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