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阐述了用Ren ishaw激光干涉法测量误差的原理,并且通过计算机控制的误差补偿系统对数控机床的定位误差进行补偿,实验结果表明这种方法可以大幅度提高数控机床的定位精度。通过分析数控机床机械传动部件的数学模型,得出数控机床进给系统低速爬行的原因,并提出了提高数控机床低速进给运动的平稳性和运动精度的措施。