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本文通过生产实际案例，研究了SPC质量管理工具在半导体磷扩散工艺中的应用，运用SPC控制图判断准则，对生产过程中的质量异常情况进行了监控和分析，通过一系列的纠正预防措施，使得质量异常得到管控，工序控制能力指数得到提升。
SPC质量管理工具在半导体扩散工艺中的应用
【摘 要】
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本文通过生产实际案例，研究了SPC质量管理工具在半导体磷扩散工艺中的应用，运用SPC控制图判断准则，对生产过程中的质量异常情况进行了监控和分析，通过一系列的纠正预防措施，使得质
【机 构】
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无锡华润华晶微电子有限公司,江苏,214000;上海通用汽车有限公司,上海,201206;
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2014年11期
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