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SPC质量管理工具在半导体扩散工艺中的应用
SPC质量管理工具在半导体扩散工艺中的应用
来源 :军民两用技术与产品 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangyang062011
【摘 要】
:
本文通过生产实际案例,研究了SPC质量管理工具在半导体磷扩散工艺中的应用,运用SPC控制图判断准则,对生产过程中的质量异常情况进行了监控和分析,通过一系列的纠正预防措施,使得质
【作 者】
:
肖步文
刘逸敏
【机 构】
:
无锡华润华晶微电子有限公司,江苏,214000;上海通用汽车有限公司,上海,201206;
【出 处】
:
军民两用技术与产品
【发表日期】
:
2014年11期
【关键词】
:
SPC
扩散工艺
工序控制
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本文通过生产实际案例,研究了SPC质量管理工具在半导体磷扩散工艺中的应用,运用SPC控制图判断准则,对生产过程中的质量异常情况进行了监控和分析,通过一系列的纠正预防措施,使得质量异常得到管控,工序控制能力指数得到提升。
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