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期刊论文
GaAs上反应溅射WNx薄膜特性研究
GaAs上反应溅射WNx薄膜特性研究
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vialli_7
【摘 要】
:
本文用反应溅射方法,制备了WN_x薄膜,用X光衍射、俄歇能谱深度成分分析、表面电阻测量及电流—电压曲线,测量、研究了WN_x薄膜的性能及与GaAs的肖特基势垒特性.
【作 者】
:
毛大立
俞伟丽
林栋梁
史常忻
【机 构】
:
上海交通大学材料科学系,上海交通大学微电子研究所200030,200030,200030
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1991年2期
【关键词】
:
GAAS
WN薄膜
溅射
工艺
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本文用反应溅射方法,制备了WN_x薄膜,用X光衍射、俄歇能谱深度成分分析、表面电阻测量及电流—电压曲线,测量、研究了WN_x薄膜的性能及与GaAs的肖特基势垒特性.
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