【摘 要】
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本文改进了二次电子收集的方式和结构。在测量手段上采用了双路瞬态单次脉冲记录方法。给出了对聚酰亚胺薄膜的测试结果,指出其发射特性遵从σ=1.08×1/E~(n-1)的关系,其中n=
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本文改进了二次电子收集的方式和结构。在测量手段上采用了双路瞬态单次脉冲记录方法。给出了对聚酰亚胺薄膜的测试结果,指出其发射特性遵从σ=1.08×1/E~(n-1)的关系,其中n=1.28。本文还计算了千电子伏能量电子在此薄膜中的阻滞本领、射程与能量的关系。还估计了二次电子的逃逸深度。
This paper improves the method and structure of secondary electron collection. In the measurement method using a single transient pulse recording method. The test results of the polyimide film are given, and its emission characteristics are obeyed as σ = 1.08 × 1 / E ~ (n-1), where n = 1.28. In this paper, we also calculated the electron blocking energy in this film in the block ability, range and energy relationship. Also estimated the escape depth of secondary electrons.
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