【摘 要】
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以真空蒸镀法在K9玻璃基底上制备了TeOx单层薄膜.使用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构进行了分析.实验结果表明，薄膜是由晶态Te分
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以真空蒸镀法在K9玻璃基底上制备了TeOx单层薄膜.使用X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构进行了分析.实验结果表明，薄膜是由晶态Te分散在非晶态TeO2基体中形成的混合体系，TeO2基体的存在增强了Te的抗氧化性能；薄膜具有精细粒状结构和粗糙的表面；退火后薄膜的反射率增加和Te向表面的偏析、重聚集及表面粗糙度的降低有关.采用波长为514.4nm的短波长静态记录仪对薄膜静态记录性能的测试结果表明：薄膜具有良好的记录灵敏性，在记录功率1.5mW、脉宽50n
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