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本文给出了一处通过真空区熔工艺测量电阻率的方法，用测定和计算磷的挥发速度系数的方法。可以给出挥发系数与ρ的关系曲线，即随着提纯次数的增加，挥发系数Ｅ的数值有下降的趋势；特别是电阻率增大时，Ｅ的数值减小。
硅中磷的挥发速度系数的测定
【摘 要】
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本文给出了一处通过真空区熔工艺测量电阻率的方法，用测定和计算磷的挥发速度系数的方法。可以给出挥发系数与ρ的关系曲线，即随着提纯次数的增加，挥发系数Ｅ的数值有下降的趋势；特
【机 构】
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河北大学电子与信息工程系,北京军区红星单晶硅厂
【出 处】
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河北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1995年4期
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