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期刊论文
硅中磷的挥发速度系数的测定
硅中磷的挥发速度系数的测定
来源 :河北大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuyaya
【摘 要】
:
本文给出了一处通过真空区熔工艺测量电阻率的方法,用测定和计算磷的挥发速度系数的方法。可以给出挥发系数与ρ的关系曲线,即随着提纯次数的增加,挥发系数E的数值有下降的趋势;特
【作 者】
:
白申兰
高艳杰
【机 构】
:
河北大学电子与信息工程系,北京军区红星单晶硅厂
【出 处】
:
河北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
硅材料
磷
挥发速度系数
测定
半导体
Silicon material
Phosphide impurity
Volatilize
Speed coeff
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本文给出了一处通过真空区熔工艺测量电阻率的方法,用测定和计算磷的挥发速度系数的方法。可以给出挥发系数与ρ的关系曲线,即随着提纯次数的增加,挥发系数E的数值有下降的趋势;特别是电阻率增大时,E的数值减小。
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