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本论文给出了薄膜敏感元件叉指电极间薄膜分布电阻的计算方法,为电阻型敏感元件的设计提供理论上的指导。并根据理论公式,设计了一款简单易用的软件,可以很方便的计算给定叉指电极间的薄膜分布电阻。
叉指电极间分布电阻的计算方法与软件设计
【摘 要】
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本论文给出了薄膜敏感元件叉指电极间薄膜分布电阻的计算方法,为电阻型敏感元件的设计提供理论上的指导。并根据理论公式,设计了一款简单易用的软件,可以很方便的计算给定叉
【机 构】
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厦门海洋职业技术学院
【出 处】
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电脑知识与技术(学术交流)
【发表日期】
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2007年13期
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