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叙述了一种减小硅外延自掺杂影响的改进的二步外延法，减压－常压二步法，采用该方法所生长的外延层，其过渡区明显小于常规二步法的结果，和单纯减压方法所得的结果相当，外延层晶格质量明显优于单纯减压外延的结果。
减小硅外延自掺杂影响的改进的二步外延法
【摘 要】
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叙述了一种减小硅外延自掺杂影响的改进的二步外延法，减压－常压二步法，采用该方法所生长的外延层，其过渡区明显小于常规二步法的结果，和单纯减压方法所得的结果相当，外延层晶格质量
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1995年3期
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