【摘 要】
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采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮（PVP）为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光
【基金项目】
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陕西省自然科学基金（2004E102）,西安应用材料创新基金（XA-AM-200611）,陕西省电工材料与溶（浸）渗技术重点实验室基金
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采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮（PVP）为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡（Ba（0.8）Sr（0.2）TiO3）前驱溶胶及其凝胶薄膜;结合直接感光法,首先制备图形化凝胶薄膜,再通过后续热处理,在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜,其图形厚度约为793nm,相对介电常数约为600,介电损耗约为0.03.
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