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期刊论文
AES测薄膜厚度的误差分析与修正
AES测薄膜厚度的误差分析与修正
来源 :现代仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:furuirui
【摘 要】
:
本文介绍了AES测薄膜厚度的原理和方法,分析了测试过程中的各种误差,并探讨了各种误差的修正方法。
【作 者】
:
盛国裕
【机 构】
:
中国计量学院机电工程教研室
【出 处】
:
现代仪器
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
薄膜
AES
厚度测量
误差分析
误差修正
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本文介绍了AES测薄膜厚度的原理和方法,分析了测试过程中的各种误差,并探讨了各种误差的修正方法。
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