【摘 要】
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本文设计和研制了一种新结构薄型压电行波小马达。小马达由圆形压电薄片或圆环形压电薄片和兼作公共电极的金属弹性体联成一体作马达的定子，薄型转子坐落在公共电极金属弹性体
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室;
【基金项目】
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国家攀登计划B“微电子机械系统”项目
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本文设计和研制了一种新结构薄型压电行波小马达。小马达由圆形压电薄片或圆环形压电薄片和兼作公共电极的金属弹性体联成一体作马达的定子，薄型转子坐落在公共电极金属弹性体上，从而使压电马达的构造简单，也简化了制作工艺。研制成的薄型压电行波小马达直径φ８ｍｍ，定子总厚度≤３５０μｍ，在１０－１２伏交变电讯号激励下，转子转速≥１００ｒｐｍ。
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