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提出ERA系统(Electronic Realization Automation)的概念.该系统的目标是实现微细结构,特别是VLSIC的全自动化制造.对于微细结构制造来说,以下四个问题是根本性的,同时也是最为重要的,即:微细结构的表达及相关运算;加工流程的确定;生产安排及作业调度;工艺的控制、分析、诊断.以上四者构成了ERA系统的关键模块,并讨论了实现这些模块的关键技术.