宽形束离子源离子光学系统的一些问题

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本文介绍了在溅射应用中的宽形束离子源离子光学系统、工作原理和经验设计数据,并比较了各种离子光学系统的性能及其在低能离子束中的应用。 In this paper, the wide beam ion source ion optical system, its working principle and empirical design data in sputtering applications are introduced. The performance of various ion optical systems and their applications in low energy ion beams are compared.
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