【摘 要】
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本文介绍了在溅射应用中的宽形束离子源离子光学系统、工作原理和经验设计数据,并比较了各种离子光学系统的性能及其在低能离子束中的应用。
In this paper, the wide beam
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本文介绍了在溅射应用中的宽形束离子源离子光学系统、工作原理和经验设计数据,并比较了各种离子光学系统的性能及其在低能离子束中的应用。
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