【摘 要】
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文章设计了压电式二维微位移平台,能够实现x、y方向的微位移,每个方向都有一个Scott-Russell机构(简称为SR机构)来放大压电驱动器的输出位移,该机构的理论放大倍数为3.125。用SolidWorks软件中的simulation模块进行有限元分析,结果表明:机构的实际放大倍数为2.23,微位移平台能够实现的最大位移为66μm。
【基金项目】
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国家级大学生创新创业训练计划项目(编号:202010354051X),嘉兴学院校级SRT计划项目(编号:8517203213)。
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文章设计了压电式二维微位移平台,能够实现x、y方向的微位移,每个方向都有一个Scott-Russell机构(简称为SR机构)来放大压电驱动器的输出位移,该机构的理论放大倍数为3.125。用SolidWorks软件中的simulation模块进行有限元分析,结果表明:机构的实际放大倍数为2.23,微位移平台能够实现的最大位移为66μm。
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