【摘 要】
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本文提出了一种在商品化的SG4009玻璃上制作50×50mm微流控芯片的方法。SG4009玻璃表面有厚度570nm的光刻胶S-1085和厚度145nm的Cr层组成的掩蔽层，省去制作掩蔽层的时间和
【机 构】
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教育部精密与特种加工技术重点实验室,辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
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本文提出了一种在商品化的SG4009玻璃上制作50×50mm微流控芯片的方法。SG4009玻璃表面有厚度570nm的光刻胶S-1085和厚度145nm的Cr层组成的掩蔽层，省去制作掩蔽层的时间和设备，降低了生产成本，缩短了生产周期。对芯片制作过程中的一些问题进行分析研究，提出相应的解决方案，保证了芯片的制作质量。
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