脉冲激光沉积制备薄膜的研究动态

来源 :江苏理工大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:newlinge
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综述了脉冲激光沉积制备薄膜的原理、特点,国内外对脉冲激光沉积的研究应用情况及目前的最新研究方向.着重分析了脉冲激光沉积过程中各主要沉积条件,如激光能量密度、靶-基体距、真空室气压及基体温度等对薄膜质量的影响.
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