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对铝箔分别在300℃、400℃和500℃进行0．5h、1h和2h真空退火。测定了铝箔的氧化膜厚度和比电容，并用扫描电子显微镜观察了退火铝箔的腐蚀形貌。结果表明，在400℃退火的铝箔氧化膜最薄，300℃退火的居中，500℃退火的最厚。在300℃退火时，随着保温时间的延长，铝箔的氧化膜厚度减小；而在400℃和500℃退火时，氧化膜厚度增大。500℃退火的铝箔，表面微量元素的分布较均匀，腐蚀坑较细小且密度大，比电容较高。而较低温度退火的铝箔，微量元素偏聚在表面的位错周围，铝箔表面出现大量的腐蚀坑，比电容较小。