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文章介绍了各种SOI器件的结构及特点，指出了各种器件的优越性能。同时文中还介绍了在SOI结构上制作电路的工艺及需要开发的技术。在此基础上概括介绍了SOI器件的各种应用。
SOI器件及应用
【摘 要】
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文章介绍了各种SOI器件的结构及特点，指出了各种器件的优越性能。同时文中还介绍了在SOI结构上制作电路的工艺及需要开发的技术。在此基础上概括介绍了SOI器件的各种应用。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十八研究所
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2007年7期
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