【摘 要】
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An AlN Layer grown by an ALE has been developed to improve the growth quality of GaN on Al2O3 substrate by low-pressure metalorganic vapor phase epitaxy (LP-MOV
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An AlN Layer grown by an ALE has been developed to improve the growth quality of GaN on Al2O3 substrate by low-pressure metalorganic vapor phase epitaxy (LP-MOVPE). An ALE AlN layer grown on Al2O3 substrate has a high quality and the structure is similar
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