【摘 要】
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本文对各种连续对称相位函数及其特性进行了分析,讨论了相位函数的2π调制、2^N和N-1法量化等问题及数据处理过程,提出二元衍射元件CIF(Caltech Intermediate Form)格式掩模数据的生成方法,并建立了实用软件,为激光
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所
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本文对各种连续对称相位函数及其特性进行了分析,讨论了相位函数的2π调制、2^N和N-1法量化等问题及数据处理过程,提出二元衍射元件CIF(Caltech Intermediate Form)格式掩模数据的生成方法,并建立了实用软件,为激光直写技术实现二元衍射光学元件制作提供了有效的手段。
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