半导体传感器

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在六十年代后半期,只有几家公司(主要在美国)能制造基于硅的压电效应,将应变片贴到传感元件表面的压力传感器。这些传感器并不特别准确。这几年有些测量工程师却把这些压力传感器描述为比较理想的温度传感器。从那时候起制造技术有了一定程度的改进,以致 In the latter half of the sixties, only a few companies (mainly in the United States) were able to create silicon-based piezo-electric effects by applying strain gauges to pressure sensors on the surface of sensing elements. These sensors are not particularly accurate. In recent years some measurement engineers have described these pressure sensors as the ideal temperature sensor. Since then, manufacturing technology has been somewhat improved
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