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期刊论文
PCVD制备工业硬膜研究
PCVD制备工业硬膜研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ch3
【摘 要】
:
用等离子化学气相沉积技术制备了TiN,TiC,Ti(CN)和(TiSi)N膜及其组合的多层膜。PCVD具有很好的覆盖性,PCVD-TiN具有很好的耐磨耐蚀性,膜与基体结合良好,因而用PCVD法在高速钢刀具,模具及轴承上沉积TiN可大大提高其使用寿命
【作 者】
:
石玉龙
彭红瑞
【机 构】
:
青岛化工学院等离子体表面技术研究所
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
氮化钛
碳化钛
薄膜
PCVD
PCVD
surface modification
hard coatings
multilayers films
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用等离子化学气相沉积技术制备了TiN,TiC,Ti(CN)和(TiSi)N膜及其组合的多层膜。PCVD具有很好的覆盖性,PCVD-TiN具有很好的耐磨耐蚀性,膜与基体结合良好,因而用PCVD法在高速钢刀具,模具及轴承上沉积TiN可大大提高其使用寿命。
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