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本文介绍了上海电子束离子阱（EBIT）装置微量气体注入系统的成功研制。文中阐述了该系统的总体设计，并运用Maxwellian速度分布理论及几何光学模型描述和分析了整个注入过程，重点计算了注气效率和中心漂移管处分子密度。现已投入运行，实验证明达到了设计指标，满足了实验使用要求。
上海EBIT装置微量气体注入系统的研制
【摘 要】
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本文介绍了上海电子束离子阱（EBIT）装置微量气体注入系统的成功研制。文中阐述了该系统的总体设计，并运用Maxwellian速度分布理论及几何光学模型描述和分析了整个注入过程，重点计
【机 构】
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中国科学院上海应用物理研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2007年1期
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