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详细分析了压电扫描器的机械特性，及其对扫描特性的影响，通过调整输入波形的形式来修正压电扫描器的扫描畸变，从而达到计算机控制压电扫描器扫描的高精度和可控性。压电扫描器的扫描角度俑达到３°以上，扫描频率为２０Ｈｚ以上，扫描线性度为１％。
新型压电光学扫描器的性能及控制
【摘 要】
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详细分析了压电扫描器的机械特性，及其对扫描特性的影响，通过调整输入波形的形式来修正压电扫描器的扫描畸变，从而达到计算机控制压电扫描器扫描的高精度和可控性。压电扫描器的
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1998年4期
【基金项目】
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国家863重点资助
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