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系统精度测试不仅可以确定加热设备温度测量系统的误差,而且可以及时监控其变化趋势,预防由于加热设备温度测量系统的漂移造成设备温场均匀性超出工艺要求的情况。系统精度测试的主要工作包括确定标准测试系统读数和被测系统读数两项工作,其中被测系统的读数需要综合考虑各类修正值在日常生产中的不同使用方法来确定,是系统精度测试的难点和关键步骤。因此,本文重点讨论了系统精度测量过程中温度测量系统读数的确定方法。