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射频磁控溅射法制备NiZn铁氧体薄膜及其性能研究
射频磁控溅射法制备NiZn铁氧体薄膜及其性能研究
来源 :科协论坛(下半月) | 被引量 : 0次 | 上传用户:fengsuiyu
【摘 要】
:
采用传统氧化物陶瓷工艺制备NiZn铁氧体靶材,用磁控溅射法在Si(100),Si02/Si,S102基片上生成NiZn铁氧体薄膜,并进行XRD,SEM,AFM,VSM等分析,研究不同退火温度和厚度对薄膜显微
【作 者】
:
游昕
刘颖力
张怀武
【机 构】
:
电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川·成都,610054
【出 处】
:
科协论坛(下半月)
【发表日期】
:
2009年5期
【关键词】
:
NiZn
铁氧体薄膜
退火温度
基片
结晶
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采用传统氧化物陶瓷工艺制备NiZn铁氧体靶材,用磁控溅射法在Si(100),Si02/Si,S102基片上生成NiZn铁氧体薄膜,并进行XRD,SEM,AFM,VSM等分析,研究不同退火温度和厚度对薄膜显微结构和性能的影响.
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