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介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料。文中介绍了器件的工作原理,建立了磁路的仿真模型,据此计算确定了气隙宽度和悬臂梁厚度。采用表面微加工和微电铸工艺制作了器件。
一种新型MEMS电磁继电器的研究
【摘 要】
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介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚酰亚胺作绝缘材料。文中介绍了器件的工作原
【机 构】
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上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2008年05期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目资助(50405013);国家863计划项目资助(2006AA04Z360);上海市科委重点实验室基金项目资助(05dz22309);微米/纳米加工技术国家级重点实验室基金资助(9140C790301060C79)
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