Au-GaAs、NiG-GaAs可见光接收器

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wei_357
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本文介绍一种用化学沉积法制备Au-GaAs和Ni-GaAs接收器的方法.给出了最佳参数的工艺条件.对光谱持性做了测量.实验同理论符合的很好. In this paper, a method for preparing Au-GaAs and Ni-GaAs receivers by chemical deposition is presented. The process parameters for the optimum parameters are given. The spectroscopic properties are measured. The experiment is in good agreement with the theory.
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