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电镜(SEM)和能谱仪(EDS)的联用可以方便且无损地对各种材料进行元素的定性分析、半定量分析甚至定量分析.其对EDS准确性的影响,从样品的制备,加速电压的选择以及重叠峰的识别三个方面进行了分析讨论.
影响EDS分析准确性的因素探讨
【摘 要】
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电镜(SEM)和能谱仪(EDS)的联用可以方便且无损地对各种材料进行元素的定性分析、半定量分析甚至定量分析.其对EDS准确性的影响,从样品的制备,加速电压的选择以及重叠峰的识别
【机 构】
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西北有色金属研究院材料分析中心,西北有色金属研究院技术质量处
【出 处】
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西安文理学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2010年03期
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