圆片键合强度测试方法分析

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介绍了三种典型的圆片键合强度表现形式:抗拉强度、剪切强度和粘接强度。针对每种表现形式的特点,分析了相应的测试方法。抗拉和剪切强度以力为表征,主要的测试方法是一维直拉法,可测78.4 MPa强度以下的键合样件,但是测试样件制备要求比较严格;粘接强度是以能量形式表征键合强度,可以从本质上了解键合质量,主要测试方法是DCBT法。但是DCBT法需要精确计算所做的功,对测试设备要求较高。因此,抗拉和剪切强度主要应用于生产实际中而粘接强度侧重于科研工作。
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