【摘 要】
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研发一种能监测二氧化硅刻蚀的高频单面无极石英晶体微天平(HS-ES-QCM)传感装置,该检测装置是基于单片机控制DDS数字发生器产生正弦波信号对无极石英晶体进行扫描激励,通过相
【机 构】
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中南大学化学化工学院,湖南大学化学生物传感与计量学国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(No.21727810)。
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研发一种能监测二氧化硅刻蚀的高频单面无极石英晶体微天平(HS-ES-QCM)传感装置,该检测装置是基于单片机控制DDS数字发生器产生正弦波信号对无极石英晶体进行扫描激励,通过相敏检波对其谐振频率信号采集的一种分析系统。H-S-ES-QCM可实现对二氧化硅刻蚀实时监测,其使用工作频率在100 MHz的压电石英晶体作为传感原件,理论上,当H-S-ES-QCM检测系统噪声误差在20 Hz时,灵敏度可达到0.89 ng/cm2,检测下限达到3.36×10-8 cm。实验
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