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利用不同注入剂量氮离子室温下对聚甲基丙稀酸甲酯和聚乙稀表面进入注入。标准四探针方法对其电性能测量表明：经氮离子注入手，它们的表面电阻率均有明显下降。此外离子注入也对样品表面的硬度有不同程度的影响。
氮离子注入对有机高分子材料表面电阻率和硬度的影响
【摘 要】
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利用不同注入剂量氮离子室温下对聚甲基丙稀酸甲酯和聚乙稀表面进入注入。标准四探针方法对其电性能测量表明：经氮离子注入手，它们的表面电阻率均有明显下降。此外离子注入也对
【机 构】
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天津仪表无线电工业学校,天津师范大学物理系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年2期
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