在10~(-4)~10帕范围用孔流法校准真空计

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本文提出了一台英国物理所(NPL)用于校准10-4~10帕范围真空计的孔流法装置。这个范围大大超出了通常采用此法所能产生的压力,这是用校准过的规管以及定压流量计测定了小孔的通导才成为可能的。当用这台装置校准规管时,对于气体从试验室流过小孔时的抽速变化,采用符合该变化的? In this paper, a hole flow method apparatus calibrated by the British Institute of Physics (NPL) to a vacuum gauge in the range of 10-4 to 10 Pa was proposed. This range greatly exceeds the pressure normally experienced with this method, as it is possible to calibrate the pinhole with a calibrated gauge and a constant pressure flow meter. When calibrating the regulation with this unit, the change in pumping speed at which gas flows through the orifice from the test chamber,
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