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低金刚石的生长实验自八十年代至今已取得了很大成功。但采用合理的计算方法定理化地预测出金刚石生长条件在国同人外还是一个新的课题。
甲烷—氢气体系金刚石生长的热力学相图分析
【摘 要】
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低金刚石的生长实验自八十年代至今已取得了很大成功。但采用合理的计算方法定理化地预测出金刚石生长条件在国同人外还是一个新的课题。
【机 构】
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复旦大学电子工程系ＣＶＤ研究室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1998年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金,“八六三”高科技基金
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